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產品詳細頁產品介紹
1、探針臺 Stage 尺寸:70mm(L)X40mm(W)X38mm(H );
2、探針臺 Stage 運動:X,Y,Z 三軸直角坐標;
3、探針臺 Stage 行程:12mm(X,Y,Z);
4、X,Y,Z 粗調分辨率:1nm;
5、探針臺 Stage 精調范圍:1nm(X,Y,Z);
6、X,Y,Z 精調分辨率:1nm;
7、探針臺 Stage 數:2、4;
8、探針臺 Stage 控制:操縱桿,按鍵和旋鈕;
9、電測試探頭:2、4;
10、工作電源:220VAC 2A;
11、納米實驗系統探針機構與樣品臺采用可拆卸式固定方式,不影響電鏡的正常運動模式;
12、納米實驗系統探針頭采用插接式結構,基座上配有探針、及電測試等的通用機械、電氣接口;耐壓為 1000 V;
13、操作控制器具有操縱桿和旋鈕兩種操控方式,可靈活切換控制探針的三個運動方向,具有粗精四級運動精度控制,四個探針的運動也可靈活切換控制;
14、電測試探頭采用機械連接固定方式,安裝角度可調,拆裝、固定使用方便;
15、實驗系統與電鏡無縫連接,保持掃描電鏡真空腔內的原有真空度。